防止?jié)崈羰异o電放電的方法         上海   

一種防止?jié)崈羰异o電放電的方法，可于一具有一層流裝置的潔凈室中去除靜電荷，該潔凈室中具有一層流裝置，設(shè)置于該潔凈室的天花板上；本發(fā)明先至少一設(shè)置于該層流的中具有一*高度的離子產(chǎn)生器，該離子產(chǎn)生器包含有至少一發(fā)射管，且各該發(fā)射管的至少一輸出端正對(duì)于該天花板，然后再至少一設(shè)置于該層流的中且具有一第二高度的傳輸系統(tǒng)，用以傳送至少一載具，zui后利用至少一電壓源施加于各該發(fā)射管之上，以去除該潔凈室中的靜電荷；本發(fā)明將該離子產(chǎn)生器的發(fā)射管的輸出端正對(duì)于該天花板，可避免因電場(chǎng)強(qiáng)度會(huì)過規(guī)格的上限而對(duì)自動(dòng)傳輸軌道上的載具所攜的材料造成破壞．